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感光显影型电泳抗蚀剂 LPR-EP-200

感光显影型电泳抗蚀剂
Photoimageable Electrophroreticetching Resist Ink LPR-EP-200
感光显影型电泳抗蚀剂是一种通过电泳方法,在覆铜板上沉积一层感光抗蚀层,此感光层经热风干燥后,通过菲林片感光、显影,形成抗蚀刻保护图形。
用   途:主要用于制造精细电路板图形蚀刻
此工艺的独特之处在于:
1 它可以在单、双面铜箔表面、同时、非常均匀地沉积一层感光抗蚀膜,而液态感光抗蚀油墨一次只能在一面印
2 比液态感光抗蚀油墨更环保。感光显影型电泳抗蚀剂以水作溶剂,无气味,无挥发性有机溶剂,使用过程中对环境无污染。
3 图型分辨率更高。由于电泳感光膜比丝印感光膜更薄、更均匀,既使基材有少量缺陷,电泳层同样可以覆盖完全,附着牢度更优,对于精细图案,蚀刻成品率更高。
4 光致抗蚀电泳漆使用方便,无需添置昂贵的设备。
5 利用率高(95-99%)。
感光显影型电泳抗蚀剂的电泳工艺流程:
基板表面处理
水洗/纯净水→烘干/90-110℃
→电泳—工作漆液的不挥发成分以10-15%为佳
→水洗→热风预干燥,70-90℃
→曝光(高压汞灯、碘镓灯、金属卤素灯)
→显影(1%碳酸钠水溶液,温度25-30℃,手工显影或喷淋显影
→干燥90-110℃,5-10分
→蚀刻/电镀化学腐蚀(酸性或碱性)或电蚀刻
→去膜3-5%氢氧化钠水溶液
 


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