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感光显影型电泳抗蚀剂 LPR-EP-200感光显影型电泳抗蚀剂 Photoimageable Electrophroretic Etching Resist Ink LPR-EP-200 感光显影型电泳抗蚀剂是一种通过电泳方法,在金属底材如覆铜板或已金属化了的塑料基材上沉积一层感光抗蚀层,此感光层经热风干燥后,通过菲林片感光、显影,形成抗蚀刻保护图形。 用 途:主要用于制造精细电路板图形蚀刻、曲面精密金属图案蚀刻,如各种工艺品,曲面金属蚀刻版画。 此工艺的独特之处在于: (1) 它可以在复杂工件表面、非常均匀地沉积一层感光抗蚀膜,而液态感光抗蚀油墨一般只能在平面基材上印刷和蚀刻。因此感光显影型电泳抗蚀剂,可以用来蚀刻各种曲面形状的精密金属图案,如各种工艺品,曲面金属蚀刻版画。 (2) 比液态感光抗蚀油墨更环保。感光显影型电泳抗蚀剂以水作溶剂,无气味,无挥发性有机溶剂,使用过程中对环境无污染。 (3) 图形分辨率更高。由于电泳感光膜比丝印感光膜更薄、更均匀,既使基材有少量缺陷,电泳层同样可以覆盖完全,附着牢度更优,对于精细图案,蚀刻成品率更高。 (4) 光致抗蚀电泳漆使用方便,无需添置昂贵的设备。 (5) 利用率高(95-99%)。 感光显影型电泳抗蚀剂的电泳工艺流程: 基板表面处理、除油—溶剂除油、化学除油(强碱)、乳液除油(采用表面活性剂) →水洗→除锈—般采用酸洗法除锈,酸液中加入少量缓蚀剂。 →水洗→磷化→水洗/纯净水→烘干/90-110℃ →电泳—工作漆液的不挥发分以10-15%为佳 →水洗→热风预干燥,70-90℃ →曝光(高压汞灯、碘镓灯、金属卤素灯) →显影(1%碳酸钠水溶液,温度25-30℃,手工显影或喷淋显影 →干燥90-110℃,5-10分 →蚀刻/电镀化学腐蚀(酸性或碱性)或电蚀刻 →去膜3-5%氢氧化钠水溶液 |
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